凈化間級別

粒子

室內壓力Pa

mmH₂O

溫度

濕度

氣流

換氣次數

照度

粒徑

um

累計粒子數

范圍

（℃）

推薦值（℃）

差

（℃）

高

（%）

zui低

%

誤差

%

100

1000

10000

100000

≧0.5

≧0.5

≧5

≧0.5

≧5

≧0.5

≧5

100

1000

10

10000

65

100000

700

+13

（+1.3）

以上

19.4—

25

22.2

±2.8

特別時為±1.4

45

30

±10

特別時為±5

層流方式

0.45m/s

±0.1m/s

非層流方式

≧20次/h

1080--1620